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[HF20252116]大面积电子束曝光样品制备成交公告
信息来源： ******[查看]
|地区：湖北
|类型：结果公示
基本信息
信息类型：结果公示
区域：湖北
源发布时间：2025-07-30
项目名称：******[查看]
中标单位：******[查看]
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1.项目名称：大面积电子束曝光样品制备

******有限公司

3.成交供应商地址：浙江省衢州市衢江区产智路1号11幢120-1室

4.成交金额(折合人民币)：100000元

5.付款方式：合同签订后10个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后10个工作日之内支付合同金额70%。

6.主要成交标的：

序号

服务内容

服务期限

1

（1）共制备4片大面积电子束曝光样品。样品衬底材料为石英玻璃，形状为正方形，边长介于2 cm和2.5 cm之间。 （2）在每片衬底的中心区域，进行电子束曝光。电子束光刻胶选为ZEP520a。曝光图案区域为直径6 mm的圆形，具体设计版图由甲方提供。

合同签订后1个月

                                                                       

 

******学院

2025年07月30日

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快照：2025-07-30
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